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超大样品室场发射扫描电镜的结构是怎样的?

市场上扫描电子显微镜产品有很多,其中场发射扫描电子显微镜相较于普通热发射扫描电子显微镜具有更高的亮度和更小的电子束直径。那么,超大样品室场发射扫描电镜的结构是怎样的?接下来就让小编来为大家简单介绍一下:
据了解,场发射扫描电子显微镜由场发射电子枪、电子束推进器、聚光透镜(电磁透镜)、孔径、物镜(电磁透镜)、扫描线圈、极片和探测器组成。
超大样品室场发射扫描电镜各组成部分:
1、场发射电子枪。场发射电子枪分为冷场发射电子枪和热场发射电子枪。冷场发射电子枪的电子束直径最小,亮度最高,分辨率最高;热场发射电子枪的最大特点是束流大、稳定性强,但分辨率差(电子能量色散大)。
2、电容器。等势线与磁力线正交,通过透镜间隙向两端延伸,形成会聚场。电子束通过中间时,受到强磁场的偏转和聚焦,使大直径的电子束通过聚光镜后会聚成小直径的束斑。
3、孔径。按孔径大小分为大孔径光阑和小孔径光阑。
4、物镜。物镜位于镜筒底部,用于将电子束聚焦在样品上。通过聚焦旋钮调节目标电流,可以改变电子束的聚焦。
5、探测器。电子束轰击样品表面,相互作用产生二次电子、背散射电子等,这些电子信号由不同的探测器采集并处理成图像。
关于超大样品室场发射扫描电镜的结构,小编就先为大家简单介绍到这里。在行业内,泰思肯TESCAN 是一家专注于微观形貌、结构和成分分析的科学仪器供应商,若用户对场发射扫描电子显微镜还有疑问,可以通过泰思肯TESCAN的官网来进一步咨询了解。

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